Целевата стойност на относителната влажност в чиста стая с полупроводници (FAB).

Целевата стойност на относителната влажност в чиста стая с полупроводници (FAB) е приблизително 30 до 50%, което позволява тясна граница на грешка от ±1%, като например в зоната на литография – или дори по-малко при далечна ултравиолетова обработка (DUV) зона – докато другаде може да се отпусне до ±5%.
Тъй като относителната влажност има набор от фактори, които могат да намалят цялостната ефективност на чистите помещения, включително:
1. Бактериален растеж;
2. Комфортен диапазон на стайна температура за персонала;
3. Появява се електростатичен заряд;
4. Метална корозия;
5. Кондензация на водна пара;
6. Деградация на литографията;
7. Водопоглъщане.

Бактериите и други биологични замърсители (плесени, вируси, гъбички, акари) могат да се развиват в среда с относителна влажност над 60%. Някои бактериални общности могат да растат при относителна влажност над 30%. Компанията вярва, че влажността трябва да се контролира в диапазона от 40% до 60%, което може да сведе до минимум въздействието на бактерии и респираторни инфекции.

Относителната влажност в диапазона от 40% до 60% също е умерен диапазон за комфорт на човека. Твърде високата влажност може да накара хората да се чувстват задушни, докато влажност под 30% може да накара хората да се чувстват суха, напукана кожа, дихателен дискомфорт и емоционално нещастие.

Високата влажност всъщност намалява натрупването на електростатични заряди върху повърхността на чистата стая – желан резултат. Ниската влажност е идеална за натрупване на заряд и потенциално вреден източник на електростатичен разряд. Когато относителната влажност надвишава 50%, електростатичните заряди започват да се разсейват бързо, но когато относителната влажност е под 30%, те могат да се задържат дълго време върху изолатор или незаземена повърхност.

Относителна влажност между 35% и 40% може да се използва като задоволителен компромис, а чистите стаи с полупроводници обикновено използват допълнителни контроли за ограничаване на натрупването на електростатични заряди.

Скоростта на много химични реакции, включително корозионни процеси, ще се увеличи с увеличаване на относителната влажност. Всички повърхности, изложени на въздух около чистата стая, са бързи.