Схема за вторичен възвратен въздух за климатична система

Микроелектронният цех със сравнително малка площ на чистата стая и ограничен радиус на връщащия въздуховод, използван за възприемане на схемата за вторичен връщащ въздух на климатичната система. Тази схема също се използва често вчисти стаив други индустрии като фармацевтични продукти и медицински грижи. Тъй като обемът на вентилацията, който отговаря на изискванията за влажност на чистата стайна температура, обикновено е много по-малък от обема на вентилацията, необходим за достигане на нивото на чистота, следователно температурната разлика между подавания въздух и обратния въздух е малка. Ако се използва схемата за първичен възвратен въздух, температурната разлика между точката на състоянието на подавания въздух и точката на оросяване на климатичния модул е ​​голяма, необходимо е вторично отопление, което води до компенсиране на студената топлина в процеса на обработка на въздуха и по-голяма консумация на енергия . Ако се използва схемата за вторичен възвратен въздух, вторичният възвратен въздух може да се използва за заместване на вторичното отопление на схемата за първичен възвратен въздух. Въпреки че регулирането на съотношението на първичния и вторичния възвратен въздух е малко по-малко чувствително от регулирането на вторичната топлина, схемата на вторичния възвратен въздух е широко призната като мярка за пестене на енергия за климатизация в малки и средни микроелектронни чисти работилници .

Да вземем за пример чиста работилница за микроелектроника ISO клас 6, чистата площ на работилницата е 1 000 m2, височината на тавана е 3 m. Параметрите на интериорния дизайн са температура tn= (23±1) ℃, относителна влажност φn=50%±5%; Проектният обем на подавания въздух е 171 000 m3/h, времена за обмен на въздух около 57 h-1, а обемът на пресния въздух е 25 500 m3/h (от които обемът на отработения въздух за процеса е 21 000 m3/h, а останалият е обем на изтичане на въздух при положително налягане). Чувствителният топлинен товар в чистия цех е 258 kW (258 W/m2), съотношението топлина/влажност на климатика е ε=35 000 kJ/kg, а температурната разлика на връщащия въздух в помещението е 4,5 ℃. По това време обемът на първичния възвратен въздух на
Понастоящем това е най-често използваната форма на пречистваща климатична система в микроелектронната индустрия за чисти помещения, този тип система може да бъде разделена основно на три вида: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (суха намотка) +FFU. Всеки има своите предимства и недостатъци и подходящи места, енергоспестяващият ефект зависи главно от производителността на филтъра и вентилатора и друго оборудване.

1) Система AHU+FFU.

Този тип системен режим се използва в индустрията на микроелектрониката като „начин за разделяне на фазата на климатизация и пречистване“. Може да има две ситуации: едната е, че климатичната система работи само с пресен въздух, а обработеният свеж въздух поема цялото натоварване от топлина и влажност на чистата стая и действа като допълнителен въздух за балансиране на отработения въздух и изтичането на положително налягане на чистата стая тази система се нарича още система MAU+FFU; Другото е, че обемът свеж въздух сам по себе си не е достатъчен, за да отговори на нуждите от студено и топлинно натоварване на чистата стая или защото свежият въздух се обработва от външно състояние до специфичната енталпийна разлика в точката на оросяване на изискваната машина е твърде голяма , а част от вътрешния въздух (еквивалентен на обратен въздух) се връща в модула за обработка на климатика, смесва се със свежия въздух за обработка на топлина и влажност и след това се изпраща в пленума за подаване на въздух. Смесен с останалия възвратен въздух от чистата стая (еквивалентен на вторичния възвратен въздух), той влиза в модула FFU и след това го изпраща в чистата стая. От 1992 до 1994 г. вторият автор на тази статия си сътрудничи със сингапурска компания и накара повече от 10 студенти да участват в проектирането на съвместното предприятие на САЩ и Хонконг SAE Electronics Factory, което възприе последния вид пречистваща климатизация и вентилационна система. Проектът разполага с чиста стая ISO клас 5 от приблизително 6 000 m2 (1 500 m2 от които са договорени от Японската атмосферна агенция). Климатичната стая е разположена успоредно на страната на чистата стая по протежение на външната стена и само в съседство с коридора. Тръбите за свеж въздух, отработен въздух и обратен въздух са къси и гладко разположени.

2) Схема MAU+AHU+FFU.

Това решение обикновено се среща в заводи за микроелектроника с множество изисквания за температура и влажност и големи разлики в натоварването на топлина и влажност, а нивото на чистота също е високо. През лятото свежият въздух се охлажда и изсушава до точка с фиксиран параметър. Обикновено е подходящо пресният въздух да се третира до пресечната точка на изометричната линия на енталпията и линията на 95% относителна влажност на чистото помещение с представителна температура и влажност или чистото помещение с най-голям обем свеж въздух. Обемът на въздуха на MAU се определя според нуждите на всяка чиста стая за попълване на въздуха и се разпределя към AHU на всяка чиста стая с тръби според необходимия обем свеж въздух и се смесва с малко вътрешен възвратен въздух за топлина и обработка на влажността. Това устройство поема цялото натоварване от топлина и влажност и част от новото натоварване от ревматизъм на чистата стая, която обслужва. Въздухът, третиран от всяка AHU, се изпраща към нагнетателната камера за подаване на въздух във всяка чиста стая и след вторично смесване с вътрешния възвратен въздух, той се изпраща в стаята от модула FFU.

Основното предимство на решението MAU+AHU+FFU е, че в допълнение към осигуряването на чистота и положително налягане, то също така осигурява различните температури и относителна влажност, необходими за производството на всеки процес на чиста стая. Въпреки това, често поради броя на създадените AHU, заемането на помещението е голямо, свежият въздух в чистата стая, връщащият въздух, тръбопроводите за подаване на въздух се пресичат, заемат голямо пространство, оформлението е по-обезпокоително, поддръжката и управлението са по-трудни и комплекс, следователно, няма специални изисквания, доколкото е възможно, за да се избегне употребата.